半導體車間廢氣處理設備選擇標準：

　　(1)半導體生產(chǎn)車間廢氣處理設備的選擇是根據(jù)待消除氣體的種類、濃度、流量和壓力，減排設備的處理能力，綜合考慮農(nóng)藥的壽命、前后與設備的關(guān)系等多種情況，挑選合適的處理方法和設備。

　　(2)半導體生產(chǎn)車間廢氣處理設備在混合時將會爆炸、起火或造成有害物的氣體處理應該是一個***立的系統(tǒng)。

　　(3)可能有自燃性氣體或可燃氣體流動的排風管道采用不燃材料。

　　(4)不可以讓半導體生產(chǎn)車間廢氣處理設備規(guī)格中規(guī)定的廢氣以外的廢氣流動，或準許***量廢氣流動超出廢氣處理設備的處理水平。