沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留的處理辦法

 

現(xiàn)在***內(nèi)外對VOC的結(jié)尾管理辦法有：冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。以沸石資料為載體的吸附濃縮法處理VOC廢氣（沸石轉(zhuǎn)輪）得到了較為廣泛的運用。全***對VOCs污染物防治的要求和力度逐步加強，低濃度廢氣管理的沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮法成為了許多企業(yè)的***選管理計劃。

 

在運用的進(jìn)程中，因為VOCs在轉(zhuǎn)輪內(nèi)部的殘留，會導(dǎo)致沸石轉(zhuǎn)輪劣化，處理功率下降，要怎么避免和應(yīng)對這樣的情況呢？

 

下降沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備內(nèi)部VOCs殘留***要從改進(jìn)VOCs廢氣的進(jìn)氣質(zhì)量和加強脫附功率兩方面下手。

 

01. 廢氣預(yù)處理

 

廢氣預(yù)處理辦法一般有除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對要處理的VOCs廢氣實踐情況，需選取恰當(dāng)?shù)膹U氣預(yù)處理辦法。比方，半導(dǎo)體生產(chǎn)制作進(jìn)程對生產(chǎn)場所的顆粒物有嚴(yán)厲的要求，生產(chǎn)場所一般為潔凈車間。因而，有機廢氣中的顆粒物含量很少，一般無需進(jìn)行除塵預(yù)處理。

 

比方，芯片制作業(yè)生產(chǎn)進(jìn)程中運用的***要有機質(zhì)料一般具有低沸點、易揮發(fā)的***色，但仍不掃除少數(shù)高沸點物質(zhì)，如剝離液的***要成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可在高沸點物質(zhì)的處理工序中增設(shè)冷凝、前道活性炭吸附等預(yù)處理設(shè)備，以避免VOCs廢氣中難脫附的高沸點物質(zhì)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪。

 

高沸點VOCs進(jìn)入廢氣管道后簡單凝聚，然后使廢氣濕度增***。當(dāng)進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪體系的有機廢氣濕度***于80%時，將對疏水性沸石分子篩產(chǎn)生較為嚴(yán)峻的影響。因而，主張對高濕度廢氣增設(shè)枯燥除濕預(yù)處理設(shè)備，使得進(jìn)入廢水轉(zhuǎn)輪體系的廢氣濕度堅持在安穩(wěn)、可控的范圍內(nèi)。

 

02. 高溫再生

 

依據(jù)對***內(nèi)芯片企業(yè)展開的調(diào)研可知，芯片制作業(yè)常用的有機物質(zhì)有異丙醇（沸點為82.45℃）、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸點為146℃）；一起還含有少數(shù)的高沸點物質(zhì)，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。

 

一般芯片制作業(yè)沸石轉(zhuǎn)輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質(zhì)將無法從沸石轉(zhuǎn)輪上有用脫附，然后逐步積累在轉(zhuǎn)輪內(nèi)部。

 

通過對沸石轉(zhuǎn)輪體系的高沸點物質(zhì)集合情況展開的研討，可知當(dāng)沸石轉(zhuǎn)輪體系運轉(zhuǎn)1個月后，轉(zhuǎn)輪內(nèi)部的確有較很多的有機物積累，其有機物積累量即達(dá)6wt%。進(jìn)行有用的高溫脫附之后，其內(nèi)部的有機物積累量可下降約40%～60%。因而，高溫脫附可較為有用地去除沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部積累的高沸點有機物質(zhì)。

 

企業(yè)應(yīng)依據(jù)廢氣的實踐產(chǎn)生情況，剖析廢氣組成散布，剖析高沸點物質(zhì)占比情況，以及廢氣的產(chǎn)生總量等內(nèi)容，然后確認(rèn)高溫再生頻次。較為適合的高溫再生頻次為2～3個月一次。

 

高溫再生的溫度也會影響高溫脫附作用。若高溫脫附溫度選取過低，則高沸點物質(zhì)仍無法有用脫除；若高溫脫附溫度選取過高，將對沸石分子篩的骨架結(jié)構(gòu)產(chǎn)生必定的影響，然后下降其運用壽命。高溫脫附溫度宜選取300℃左右，而且，相應(yīng)的沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部配件均需選用可耐300℃高溫的密封配件。

 

03. 水洗再生

 

芯片制作業(yè)常用的有機物質(zhì)（如異丙醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等）一般具有較***的水溶性，可選用水洗再生的方法去除沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部集合的高沸點物質(zhì)。

 

水洗再生可有用進(jìn)步沸石轉(zhuǎn)輪體系的管理功率，關(guān)于工廠，當(dāng)水洗再生次數(shù)到達(dá)4～6次/年時，沸石轉(zhuǎn)輪體系的管理功率可達(dá)95%～99%。因而，恰當(dāng)添加定時水洗再生頻次，可有用避免高沸點物質(zhì)在沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部的集合，堅持高管理功率。

 

因為沸石轉(zhuǎn)輪一般選用無機粘合劑將分子篩涂覆在陶瓷纖維紙外表制作而成，故水洗時不只轉(zhuǎn)輪不會產(chǎn)生龜裂形變，也不會產(chǎn)生因為分子篩掉落所導(dǎo)致的功能劣化、運用壽命縮短等問題。

 

可是，水洗時需求留意水質(zhì)情況，若其間很多含有鈣、鎂等離子，將可能在沸石內(nèi)部構(gòu)成碳酸鹽，堵塞沸石轉(zhuǎn)輪的蜂窩狀孔道；水中所含微量重金屬物質(zhì)、氯等也會毒化沸石。

 

值得留意的是，并非一切沸石轉(zhuǎn)輪原料均耐水洗，企業(yè)應(yīng)在水洗再生之前，向沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備的制作廠商做***相關(guān)的咨詢作業(yè)。

 

04. 高壓空氣吹掃

 

企業(yè)在停機檢修理期間，選用高壓空氣對沸石轉(zhuǎn)輪進(jìn)行吹掃。但是，高壓空氣吹掃一般只可鏟除沸石轉(zhuǎn)輪外表附著的塵埃，而VOCs有機質(zhì)一般吸附在分子篩孔道內(nèi)部，無法得到有用的脫除，還需與上述其他處理方法合作選用。